- 1. Влияние примеси феррума (Fe) на качество поликристаллического кремния при ректификации
- (01.00.00 Физико-математические науки)
- ... silicon rectification cleaning. Ключевые слова: поликристаллический кремний, примесь, ректификация. Keywords: polycrystalline silicon, admixture, rectification. Литература 1. Кудайбергенов Т. Т., ...
- Создано 09 февраля 2016