Физико-математические науки

Влияние примеси феррума (Fe) на качество поликристаллического кремния при ректификации

Чотонов Бекмолдо Баймырзаевич / Chotonov Bekmoldo Baimyrzaevich - кандидат физико-математических наук, доцент,
Научный институт энергетики и геоэкологии, г. Жалал-Абад, Кыргызская Республика

Аннотация: в статье рассмотрено влияние примеси феррума (Fe) на качество получаемого поликристаллического кремния при ректификационной очистке.
Abstract: the article considers the influence of impurities Ferrum (Fe) on the quality of the polycrystalline silicon rectification cleaning.

Ключевые слова: поликристаллический кремний, примесь, ректификация.
Keywords: polycrystalline silicon, admixture, rectification.

Литература

1. Кудайбергенов Т. Т., Рысмендиев К. Р., Асанов У. У. Жалпы химия жана элементтердин химиясы. Бишкек, - 1994, С. 3-254.
2. Медведов С. А. Введение в технологию полупроводниковых материалов. Издат. «Высшая школа» Mосква, – 1970, С. 292-398 и 405-449.
3. Угай Я. А. Введение в химию полупроводников. Издание 2, переработанное и дополненное Москва «Высшая школа», 1975, С. 9-292.
4. Ормонт В. Ф. Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников. Издат. «Высшая школа», Москва, - 1968, С. 3-200.
5. Чотонов Б. Б. Исследование термодинамических процессов очистки кремния и разработка системы контроля его качества: - дис .… канд. физ.-мат. наук: 01.04.10. – Андижан, 2002.- 127 б.

pdf

Меткиполикристаллический кремний, примесь, ректификация